SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理方式子系统、气体监测子系统以【yǐ】及辅助设备和数据采集与处理方式子系统【tǒng】等构成，如下图所示。
采样预处理方式子系【xì】统由多路样气传【chuán】输管、采样泵和【hé】分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制【zhì】化的【de】搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监【jiān】测数据的稳【wěn】定和准确。
数据采集与处理方式子系统可以监控查询所有测【cè】量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至【zhì】企业的中控平台。
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